低溫冷卻液循環(huán)泵是用機械形式的制冷低溫液體循環(huán)設(shè)備。能夠提供低溫的液體、體溫洗浴水等。加上真空冷凍干燥箱、循環(huán)水式多用真空泵、旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器、磁力攪拌器等儀器,儀器進行低溫環(huán)境下的化學(xué)反應(yīng)。
低溫冷卻液循環(huán)泵內(nèi)循環(huán):通過泵對槽內(nèi)液體介質(zhì)的循環(huán)吞吐,增加槽內(nèi)溫度的均勻性,減少溫度波動。
低溫冷卻液循環(huán)泵外循環(huán):通過泵的循環(huán)能力,利用出水口,將保溫軟管與外部設(shè)備連接,形成封閉回路,流回設(shè)備進水口,是將槽內(nèi)恒溫介質(zhì)外引,建立外部恒溫場
低溫冷卻液循環(huán)泵應(yīng)用范圍:
對半導(dǎo)體制造裝置發(fā)熱部的冷卻:單晶片洗凈轉(zhuǎn)載、印刷機、自動夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機、包裝機、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。
對激光裝置發(fā)熱部分的冷卻:激光加工、熔接機的發(fā)熱部分、激光標志裝置、發(fā)生裝置、二氧化碳激光加工機等。
低溫冷卻液循環(huán)泵用于其他產(chǎn)業(yè)的機械冷卻設(shè)備有:精密研磨機、自動包裝機、鍍金槽、射出成型機、等離子熔接等。